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HFS5001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。

產(chǎn)品特點：

• 傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
• 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
• 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
• 貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用
• 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I²C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
• 零點穩(wěn)定度高
• 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性
• 低功耗、低壓損
• 響應(yīng)速度快

機械尺寸：

技術(shù)參數(shù)：