膜層材料與蒸發源材料的濕潤性
多數蒸發材料在蒸發溫度時呈熔融狀態,它們和蒸發源支持體表面會形成三種不同的接觸狀態,及濕潤、半濕潤和不濕潤。這是由兩種材料間的表面張力的大小決定的。濕潤大的時候,高溫熔化的薄膜材料容易在蒸發源材料上展開,蒸發會在較大面積上發生,其蒸發狀態穩定,且蒸發材料與支持體間黏著良好,可以認為是面蒸發源的蒸發。濕潤小的時候,認為是點蒸發源蒸發,此時蒸發材料容易從蒸發源上掉下來。半濕潤情況介于上述兩種情況之間。圖3為表示蒸發源材料和膜層材料的濕潤狀態。
圖3 蒸發源材料和膜層材料的濕潤狀態
電阻式加熱蒸發源的形狀
根據膜層材料的性質,蒸發量及其與蒸發源材料的濕潤性,電阻式加熱蒸發源可以制作成不同形狀,如圖4所示。
圖4 幾種電阻蒸發源的形狀
絲狀和螺旋絲狀蒸發源:可以是單股絲或多股絲。a和b中的結構適合蒸鍍小量的,具有極好濕潤性的蒸發源,如鋁。
螺旋錐形和籃式蒸發源:如c和d的結構,一般用來蒸發粗顆粒或塊狀電解質或金屬和不易與蒸發源相濕潤的材料。箔盤狀和槽狀蒸發源,如e,f和g,是用鎢、鉭和鉬的片狀或塊狀材料加工成的蒸發盤和蒸發舟。厚度一般為0.13-0.38mm,也可以蒸發不濕潤蒸發源的材料。這些蒸發源有坑槽,膜層材料放置在坑槽內,受熱后在坑槽內形成熔池。其特點是接近面蒸發源,發射的蒸氣限于半球面,裝料量比較經濟。只有少量的膜層材料時,適合使用這種蒸發源裝置。
此外還有射蒸發溫度不是很高,但與蒸發源材料容易發生反應的材料適合在用石英、玻璃、氧化鋁、石墨等制作的坩堝中間接加熱蒸鍍。
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